专题2：基于圆偏振态保持光纤的电流互感器产业化关键技术研究

　　研究目标：突破圆偏振态保持光纤成品率提升的关键技术，研制采用该特种光纤作为传感的全光纤电流互感器，并形成规模生产能力。

　　研究内容：（1）对环境温度和应力变化不敏感的圆偏振态保持光纤生产技术，光棒结构的设计和制备，特种拉丝设备研制及拉丝工艺探索。（2）光纤电流互感器闭环检测装置的结构设计和制造工艺、在线测温技术和系统噪声抑制的闭环控制技术。

　　（二）产业支撑技术研究与应用

　　3、高端装备领域

　　专题1、超导带材制备核心装备及超导产品

　　研究目标：开发二代高温超导带材激光镀膜法制备核心装备，建立基于自主装备的二代高温超导带材生产线。试制500米以上超导电缆连续化工艺与装备，超导电缆应用在5MW超导风机上，并完成安装运行试验。

　　研究内容：（1）应用于产业化生产第二代高温超导带材的离子束辅助沉积与激光脉冲沉积装备。（2）高温超导电缆连续化制备工艺与设备。（3）永磁直驱定子结构设计、高温超导电缆系统设计、大功率超导风机运行试验。

　　专题2、智能机器人关键技术开发和应用集成

　　研究目标：突破机器人模块化、智能化关键技术，推动相关技术在物流搬运、工程机械、智能服务机器人等领域上的集成和应用。开发系列特种与服务机器人，满足机器人的科普展示需求。

　　研究内容：（1）机器人控制器、伺服电机及驱动器、高精度减速机构、智能识别系统、机械臂等单元模块的自主开发，关键模块在物流搬运、工程机械、智能服务和特种领域机器人中的集成应用。（2）智能服务与特种机器人的系统化展示方案与技术。

　　专题3、集成电路专用装备研制技术

　　研究目标：掌握高性能IGBT（绝缘栅双极型晶体管）双脉冲激光退火设备、BGA（球栅阵列封装）基板植球机等集成电路专用装备的自主研发能力，制造相关产品，满足客户使用要求。

　　研究内容：（1）双脉冲激光退火设备关键系统与技术，Taiko薄片传输系统、高性能扫描工件台、激光退火等系统开发，以及整机设计与集成技术。（2）BGA基板植球机关键系统与技术，适应多种材质基板的柔性精密传动系统、适应弯曲基板的助焊剂自动涂布系统、植球后基板自动检查分类系统，以及视觉处理、超精密定位、精密压力控制等关键技术。

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