超晶格晶体制备、超晶格可调谐锁模、Nd:YAG激光陶瓷材料制备等技术研究。
(3)千瓦级光纤材料及全光纤激光器
低光子暗化光纤制备、全光纤种子源研制、全光纤激光器整机设计和装配等技术研究。
(4)单频激光器关键技术
纵模控制、增益光纤与标准光纤熔接、倍频晶体抗光损伤工艺等技术研究。
(5)紫外激光器产业化关键技术及应用
光学晶体长寿命使用、激光器单元模块化、系统集成等产业化关键技术开发;紫外激光微加工应用技术开发。
(6)高功率激光器产业化关键技术及应用示范
大批量Nd:YAG单晶高质量低成本生长及加工、激光振荡放大、系统集成等产业化关键技术研发;高功率激光在焊接、表面处理等方面的应用技术开发。
(7)皮秒激光器产业化关键技术及应用示范
皮秒激光振荡、再生与行波放大、系统集成等产业化关键技术研发;皮秒激光微加工应用技术开发。
4、项目主要考核指标
(1)深紫外人工晶体及激光器
KBBF晶体尺寸>15×10×4mm3,RBBF晶体尺寸>12×6×1.5mm3,KBBF-PCT器件透过率>95%@193nm;177.3nm激光器功率>100mW。
(2)光学超晶格锁模器件
线性损耗<0.5%/cm、尺寸≥20×3×1mm3;锁模激光器:1.0μm/0.5μm双波长和1.3μm;激光陶瓷尺寸≥100×100×20mm3、透光率≥80%@1064nm。
(3)千瓦级光纤材料及激光器
双包层光纤材料光子暗化<12dB/m@633nm;全光纤激光器功率>1.5kW、光束质量M2<1.5。
(4)单频激光器
倍频晶体KTP抗光损伤阈值>2GW/cm2@1064nm/10ns/10Hz;单频绿光激光器功率>10W、线宽<2MHz、噪声<0.03%RMS;单频光纤激光器功率>5W、线宽<10kHz、边模抑制比>60dB。
(5)紫外激光器
功率10W/20W/30W系列,重复频率50~150kHz,光束质量M2≤1.3,8小时内功率起伏<3%,无故障运行时间≥5000小时,实现与加工系统的匹配及定型生产。
(6)高功率激光器
Nd:YAG晶坯直径≥100mm、单程损耗≤2×10-3/cm@1064nm,键合晶体的键合面损耗≤0.1%;3kW和5kW激光器产品:光纤芯径为400μm,连续无故障运行时间≥5000小时,实现与加工系统的匹配及定型生产;激光器功率≥6kW,8小时内功率起伏<±2%。
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