19世纪初期，法国大革命以来的自由主义思想深刻影响了德国的中产阶级，他们极力反对德意志君主专制统治，要求国家必须服从法律，政府行为必须具有可预测性，为此需要建立一个三权分立、人民参与立法活动、确认并保证公民基本权利自由的宪政国。德国经过1848年资产阶级革命建立了君主立宪制，以法治原则为基础的宪政国产生。在随后半个世纪的制宪与立法过程中，依法行政原则初步确立。这一时期，行政机关与公民之间在许多领域的关系均受到法律的制约，行政机关的行为必须依法进行。在维护法律与社会秩序方面，依法行政的原则是由1882年普鲁士最高行政法院在“克劳茨伯格判决”（Kreuzberg）中确立的。这一判决之后的数十年中，普鲁士最高行政法院根据《普鲁士普通法》的规定逐渐形成了一套完备的警察法体系，这对德意志其他各邦和地区相关法律和行政法的形成具有深刻影响。这一时期，德国也进入了“自由主义法治国行政”时期，国家根据“没有法律的授权国家不得对经济社会和公民的自由进行干预”，采取不干预原则 ，对国内经济和社会生活的干预减少到了国家职能最低或最基本的程度，仅保留维护公共安全与基本秩序、消除社会危险的职能。经济和社会生活则按照自由竞争的原则，靠自发的调节机制来决定发展方向和过程，实行自由放任。在德国行政法的发展过程中，在法治国家原则 的基础上，德国行政法院系统也逐渐形成。1808年，普鲁士将行政专门小组的行政裁决权转移给普通民事法院，这导致了行政纠纷的裁决机关与行政机关正式分离。1849年，法兰克福
宪法草案明确规定停止行政机关对行政纠纷案件的行政裁判权，所有行政诉讼案件均由法院裁判。这意味着为了防止行政机关自身对其行政行为监督的不公正，从体制上制约行政机关依法行政，司法机关必须依法监控，这为司法机关对行政权力的行使实行司法控制奠定了基础。虽然法兰克福
宪法最终未能生效，但它所确立的体制为某些州所接受。1863年，巴登邦建立了一个独立的高等行政法院，这是德国第一个独立的高等行政法院。1872年至1875年，普鲁士创立了一个独立的行政法院体系，其设置的县委员会为初等行政法院、地区委员会为中等行政法院、普鲁士高等行政法院为最高行政法院。初等和中等行政法院只具有行政法院的性质，还尚未与行政机关相分离，不具有司法机关的完全独立性；高等行政法院具有完全的独立性，是与行政机关完全分离的独立的司法机关。普鲁士的这种行政法院体系对德国各个邦相继建立和完善初等和中等行政法院体系具有示范和先导作用，从1874年至1924年，在德国领域内相继建立起二级或三级独立的行政法院体系。这一时期，联邦在设立统一的行政法院方面没有取得进展，只是设立了一些专门行政法庭。1919年《魏玛
宪法》是德国设立联邦行政法院的第一个
宪法性依据，该法规定联邦及各州应依据法律成立行政法院，这对德国行政法院制度的建立和完善起了直接的推动作用。但在魏玛共和国时期，统一的中央行政法院并未成立。在纳粹统治时期，1934年颁布《司法引导法》，规定设立帝国行政法院，并将普鲁士高等行政法院并入帝国行政法院。1939年希特勒颁布行政简化令，解散了各州的一、二审诉讼机关，多数州的高等行政法院也陷入停顿。1941年5月，在1934年帝国行政法院的基础上，在柏林设立了帝国行政法院。到1941年8月德国各邦已经建立起的高等行政法院均被撤销。当然，这一时期的帝国行政法院也不可能在保障公民权利、追究行政违法等方面发挥实际作用。因此可以看出，19世纪至20世纪初的德国，在法治国家原则的指导下实现了从人治到法治的过渡和质变，建立了并逐渐完备了行政复议和行政诉讼制度特别是行政法院体制，这就为德国依法行政提供了一个基本条件。
以上两个时期德国行政法和依法行政的发展，离不开对行政法学家和行政法学理论的依赖。德国的行政法学家和行政法学理论推动着行政法和依法行政的发展，这一点与其他国家相反。
相对于德国其他古老的部门法学而言，行政法学的历史显得十分年轻。18世纪时行政法学只不过是国家学和行政学的附属部分，人们仅仅依据“国家学的方法”对诸如贫民救济、教育、警察风纪、刑事警察等国家任务以及有关的法律限制予以分析阐述。19世纪上半叶，行政法学还处于晦暗未明之中，而且是包括经济学和社会学在内的“行政学”、“行政学说”的分支。最早为德国的行政法学发展成为一门独立的学科作出贡献的主要有罗·冯·莫尔（R.Von Mohl）、弗·冯·迈耶（F.F.Von Mayer）和弗·杰·斯塔尔（F.J.Stail）。罗·冯·莫尔对德国近代行政法学形成的贡献主要在于他通过自己的教学活动，使各公国旧的“警察学”转变为新的行政法学。弗·冯·迈耶对德国近代行政法学形成的主要贡献是将各邦分散的行政法统一成为一种通行整个德意志的行政法，以法学的方法代替传统的国家学的方法来研究行政法，引入法国行政法学的成果，最先将行政行为作为中心来构造行政法总论的体系，视行政和国民的关系为权利和义务关系并将此贯穿于整个行政法体系之中。弗·杰·斯塔尔则运用“国家法人说”原理阐明君主及其统治下的政府的行政行为必须符合体现国家意志的法律，并认为法治国家的内涵不是指国家的内容和目的，而是指实现这种内容和目的的方法和手段，这是德国法制史上第一次对依法治国是实现法治国家目的的手段这一概念的科学阐释。自19世纪中期起，德国法学界的一些学者都在其论著中提出实现法治国必须依法行政的观点。19世纪末20世纪初，“德国行政法学之父”奥托·迈耶（Otto Mayer）于1895年至1896年出版了两卷本的《德国行政法》。他借助当时比德国发达的法国行政法的研究，推动了德国行政法理论特别是法治国原则和依法行政原则的发展，将之含义引向更深的层面。《德国行政法》一书分为总论、分论两部分，虽然分论中分析了警察权、财政权、公物等方面的内容，但与过去的“国家学的方法”不同——不描写个别的行政管理分支（如税法、营业法、
公路法等），而是从复杂的凭经验（尤其是法院和其他机关的判例和实践）总结出来的现象中分析法的一般范畴，是以“法学方法”研究行政法学，这一点尤其表现在分析行政法共同原理的总论中。奥托·迈耶所创立的“法律支配”（也称“依法律行政”）、“法律优先原则”、“法律保留原则”、“具体行政行为”、“特别权力关系”、“公法上的权利”等概念是描述现代行政法的核心概念。对于这些学说概念的精确界定以及对于“法学方法”的发展和完善，一直都被认为是奥托·迈耶的最大贡献之一。《德国行政法》先后又于1914年至1917年和1924年再版，对德国近现代行政法理论和原则的发展、对法国和日本行政法学以及我国20世纪初期行政法学和其后台湾地区行政法学的发展都产生了深远的影响。一战后，德国政府的行政职能已经大大不同于以前，行政法需要能反映新情况的理论。在把时代的变化与行政法理论的发展相结合方面，恩斯特·福斯特霍夫（Erust Forsthoff）做出了具有代表性的贡献，他在1938年发表了《作为给付主体的行政》一文，创造了“生存照顾”和“给付行政”理论。通过生存照顾的概念，他将提供为人们生活所必需的条件和给付确定为行政的任务，认为应当把给付行政纳入行政法规范的范围并成为行政法不可缺少的组成部分。后来，汉斯·杰·沃尓夫（Hans J.Wolff）、奥托·巴霍夫（Otto Bachoff）在概念的严密和体系的完善方面，把德国行政法推向了今天的程度。
二战后，德国进入“社会福利法治国行政”时期。现代德国所谓的社会法治国有两个方面的意义：1、国家可以拥有广泛的社会管理职能；2、国家的社会管理职能必须受到法律的约束。因此，国家职能的扩张和行使必须受制于法律，是社会法治国行政区别于自由法治国行政的特征。自由竞争在德国导致的社会矛盾和冲突在客观上需要一个超脱于自由竞争主体并能够扼制自由竞争恶果的协调者，基本社会公正的维持需要一个公正的社会产品分配者，经济的发展需要一个执行共同社会事务的组织者，基于此，国家的职能必须扩张，国家不仅要负责照顾私人的社会安全，而且还必须担负起组织社会生存和发展的一系列职责，即担负起以“生存照顾”为社会基础的“给付行政”职能。为了实现给付行政职能，在国家职能扩张的同时，必须保障公民的权益，因此国家职能的行使受制于法律成为必需。为此，德国逐步承认了“主体公法权利” 概念、否认了“特别权力关系”理论，并通过大量的行政立法将法律对公民基本权利的保护达到了完全普遍化。这一时期德国制定了大量的行政实体法，并重视和不断完善经济行政法的立法。同时，行政程序与行政诉讼方面的立法及制度的完善推动了德国行政法的发展和依法行政原则的实现，1976年德国颁布了融程序法与实体法为一体的《联邦行政程序法》，该法的颁布标志着德国行政法进入了成熟阶段。随着德国行政立法的发展和完善，行政诉讼制度也同步发展着。二战后，在联邦德国（原西德）领域内，于1946年6月正式恢复了原有的行政法院体系，并且对原有体系作了相应调整。1949年《波恩基本法》规定设立联邦行政法院，并且规定行政法院属于司法体系。1952年德国正式建立联邦行政法院。1960年颁布《行政法院法》，该法的颁布使联邦及各州均以其为根据，统一建立行政诉讼制度和行政法院体系。德国行政法院实行三级三审制，即州内设置行政法院和高等行政法院、联邦设置联邦最高行政法院。行政法院完全脱离行政机构，是一种独立的司法机构，执行行政司法职能，实行法官独立和行政司法监督 ，设置具有特色的公益代表人制度 。
